报告题目：摩尔定律的出路
报告时间：10月18日8:00-10:00，教育部重点实验室A206
报告人：闫江研究员
报告人简介：
1983年毕业于中国科技大学物理系半导体专业，获学士学位；1986年获中国科学院半导体研究所硕士学位；1999年获美国德克萨斯大学奥斯汀分校电机系博士学位。1999年至2009年在英飞凌公司的美国研发总部任职；2009年至2017年在中国科学院微电子研究所担任研究员；2017年3月起担任北方工业大学电子信息工程学院院长。曾承担国家科技重大专项课题“22纳米关键工艺技术先导研究及平台建设”、“32纳米产品工艺技术开发”担任课题负责人。发明17项美国专利，5项中国专利。
报告题目：化学机械抛光技术发展现状和趋势
报告时间：10月18日10:00-11:30，教育部重点实验室A206
报告人：刘卫丽研究员、博士生导师
报告人简介：
1999年在浙江大学获得硕士学位，2002年在中科院上海微系统与信息技术研究所获得博士学位，毕业后留所工作至今。主要研究方向为纳米材料和器件、电子级纳米磨料和抛光液。承担了国家重大专项、国家863、国家自然科学基金、上海市重点攻关项目等国家和地方的重要项目。在硅基半导体材料、新型纳米材料的制备、表面改性和应用方面具有丰富的经验，研究的二氧化硅纳米抛光液成功实现了产业化应用。已发表论文139篇，共被引用1500次以上。授权发明专利49项。参与获得国家科技进步一等奖、上海市技术发明一等奖、上海市科技进步一等奖，并获中科院杰出科技成就奖和中国科协杰出青年成果转化奖等奖项和荣誉称号。现兼任ICPT国际会议程序委员会委员、中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会常务理事、全国纳米技术标准化委员会微纳加工工作组副秘书长。
